质量流量计和压力控制器问题.

布鲁克斯的5820a压力控制器,标牌上写着input:0-5v,output 0-5v;inlet pressure:8bar,outpressure:1bar、10slpm。我想控制电压输入端6bar。是设定3.8V就可以了吗?输出是什么呢?是实际的压力吗?这个流量10slmp是最大允许流量吗?

布鲁克斯的5850s质量流量计,标牌上写着in:0-5v,out 0-5v;输入8bar,输出6bar。150sccm。我要控制75sccm就给定2.5v吗?这个压力又是什么呢?超出会有什么影响?

图片说明:

质量流量计和压力控制器问题.    质量流量计和压力控制器问题.   

最佳答案

你的理解是对的。输入端6bar,设定3.75V。输出你采集模拟量信号,按照对应关系可以计算出压力或流量值。10slmp应该是对应输出1bar时的最大流量。
输出最大150sccm时对应的最大压力是6bar。超出会对你的传感器有影响,太大时会损坏你的传感器。

提问者对于答案的评价:
谢谢

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